瑞银分析师称，中国光刻项目大致相当于 ASML 2004 年水平，十年内难造出可行的 EUV 替代品；但预计 2 到 5 年内能实现浸润式 DUV 光刻机大规模量产，该类设备正受荷兰出口许可管制。
ASML 浸润式 DUV 售价近 9000 万美元，EUV 超 2 亿美元；2025 年第三季度中国占其净销售额 42%。
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